该监测系统基于PID（光离子化）、色谱-质谱联用技术，快速、直接测量出处理前、后VOCs浓度，显示降解效率，并可实时远程传输给上级环保部门。系统安装前先结合GC-MS对有机废气进行定性定量分析（工况不变的情况下），然后根据对应的公式在VOCs在线检测系统设置适合的校正系数，便可快速测量有机废气的VOCs浓度值，从而达到实时监控的效果。定期使用GC-MS对其进行系数调整，保证系统的监测准确性。

系统包含采样预处理、分析及温度、流速、压力检测等子系统，在实现实时检测VOCs浓度同时，可以进行排放总量的监测。